2022年中國儀器儀表學術年會光學儀器與技術分論壇召開

2022年11月29-30日，由中國儀器儀表學會、國務院學位委員會儀器科學與技術學科評議組、教育部高等學校儀器類專業教學指導委員會主辦，上海交通大學、上海工業自動化儀表研究院有限公司承辦的2022年中國儀器儀表學術年會采取線上線下相結合的方式順利召開。

會議注冊代表824人，來自全國31個省、市、自治區。

會議歷時3天，設院長論壇、標準化委員會工作會議、開幕式主論壇、閉幕式主論壇、專題分論壇、產學研技術交流會，共17場活動，特邀6位院士報告、78 位中青年專家報告。

由光機電技術與系統集成分會負責組織的“光學儀器與技術”分論壇于29日下午在線上召開。會議由光機電技術與系統集成分會主任委員、天津大學教授劉鐵根致開幕辭和歡迎辭，他介紹了“光學儀器與技術”分論壇基本情況及本次會議的組稿情況。會議由劉鐵根主任委員和光機電分會常務副主任委員、北京理工大學教授、長春理工大學副校長郝群主持。

會議邀請到了9位光學儀器與技術領域的專家作了邀請報告，朱健強研究員的報告結合高功率激光物理聯合實驗室50余年的發展歷程，說明了激光器驅動機理問題的理解和解決是大科學工程發展的必由之路。周維虎研究員報告范圍包括關鍵尺寸（CD）的量測、顯微技術、光刻量測、前端工藝量測、片上互連量測、3D互連量測、材料表征、新材料和新器件的量測以及參考物質等內容。張宗華教授的報告針對透視投影誤差、三維測量系統標定技術復雜且耗時及相位靈敏度低三個主要難題，提出了有效解決方法。陳洪芳教授的報告介紹了用先進的激光測量技術提高樣板的測量精度來確保齒輪制造的精度。胡鵬程教授介紹了具有亞納米至皮米分辨力、超低非線性和高穩定性特征的新一代亞納米和皮米級超精密激光干涉測量方法，在下一代微電子光刻機、表面科學與工程、納米加工、精密計量、大科學裝置等研究領域具有潛在的廣泛應用前景。唐鑫教授介紹了新型膠體量子點作為一種新興液態半導體材料，具有光譜調控范圍“寬”、合成規模“大”、制備成本“低”、以及加工工藝“易”等優勢，為新型紅外焦平面陣列研發提供了全新的思路。

本論壇共收到來自29個高校、研究所和科技公司的投稿60余篇，評選出優秀論文10篇。本次會議提供了國內光學儀器與技術領域交流平臺，通過學術報告與交流，對我國光學儀器與技術的發展起到一定的推動作用。